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Schmidt, Thilo:Technologiemanagement und anwendungsspezifische Prozessentwicklung in der Mikrosystemtechnik / Thilo Schmidt. — Siegen : Universitätsbibliothek der Universität Siegen, 2011. — Online-Ressource. Verfügbar Ebook: https://katalog.bibliothek.tu-chemnitz.de/Record/13-1022240315

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