Halbleiterprüfung ; Licht- und Rasterelektronenmikroskopie ; mit 12 Tabellen

1. Verfasser:
Weitere Verfasser: [VerfasserIn] ; 1945- [VerfasserIn]
Verfasserangabe: Wolfgang Schäfer; Georg Terlecki
Format: Buch
Sprache: Deutsch
veröffentlicht: Heidelberg: Hüthig, 1986
Schlagworte:
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ISBN: 377851007X
9783778510070
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