%0 Book %A Schaefer, Wolfgang and Schäfer, Wolfgang and Terlecki, Georg %I Hüthig %D 1986 %C Heidelberg %D 1986 %G German %@ 377851007X %~ Katalog UB TU-Chemnitz %T Halbleiterprüfung: Licht- und Rasterelektronenmikroskopie ; mit 12 Tabellen %Z https://katalog.bibliothek.tu-chemnitz.de/Record/0-017980534 %U https://katalog.bibliothek.tu-chemnitz.de/Record/0-017980534