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Multiscale simulation of metallic copper and copper oxide atomic layer deposition from Cu Beta-diketonates
Gespeichert in:
Personen und Körperschaften: | |
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Titel: | Multiscale simulation of metallic copper and copper oxide atomic layer deposition from Cu Beta-diketonates/ Xiao Hu |
Ausgabe: | [1. Auflage] |
Hochschulschriftenvermerk: | Dissertation, Technische Universität Chemnitz, 2017 |
Medientyp: | Buch Hochschulschrift |
Sprache: | Deutsch, Englisch |
veröffentlicht: |
Chemnitz
Universitätsverlag Chemnitz
2018
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Schlagwörter: | |
Erscheint auch als: | Hu, Xiao, 1985 - , Multiscale simulation of metallic copper and copper oxide atomic layer deposition from Cu Beta-diketonates, Chemnitz : Universitätsverlag Chemnitz, 2018, 1 Online-Ressource |
Quelle: | Verbunddaten SWB |
Umfang: | 197 Seiten; Illustrationen; 21 cm |
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ISBN: |
9783961000531
3961000530 |