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Buchumschlag von Multiscale simulation of metallic copper and copper oxide atomic layer deposition from Cu Beta-diketonates
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Multiscale simulation of metallic copper and copper oxide atomic layer deposition from Cu Beta-diketonates

Gespeichert in:

Personen und Körperschaften: Hu, Xiao (VerfasserIn)
Titel: Multiscale simulation of metallic copper and copper oxide atomic layer deposition from Cu Beta-diketonates/ Xiao Hu
Ausgabe: [1. Auflage]
Hochschulschriftenvermerk: Dissertation, Technische Universität Chemnitz, 2017
Medientyp: Buch Hochschulschrift
Sprache: Deutsch, Englisch
veröffentlicht:
Chemnitz Universitätsverlag Chemnitz 2018
Schlagwörter:
Erscheint auch als: Hu, Xiao, 1985 - , Multiscale simulation of metallic copper and copper oxide atomic layer deposition from Cu Beta-diketonates, Chemnitz : Universitätsverlag Chemnitz, 2018, 1 Online-Ressource
Quelle: Verbunddaten SWB