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Metal Impurities in Silicon- and Germanium-Based Technologies: Origin, Characterization, Control, and Device Impact
Gespeichert in:
Personen und Körperschaften: | , |
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Titel: | Metal Impurities in Silicon- and Germanium-Based Technologies: Origin, Characterization, Control, and Device Impact/ by Cor Claeys, Eddy Simoen |
Medientyp: | E-Book |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
Cham
Springer International Publishing
2018
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Gesamtaufnahme: |
Springer Series in Materials Science Springer eBook Collection SpringerLink |
Schlagwörter: | |
Quelle: | Verbunddaten SWB |