Gallium-based solid liquid interdiffusion bonding of semiconductor substrates near room temperature

1. Verfasser:
Verfasserangabe: Joerg Froemel. Technische Universität Chemnitz
Körperschaft: Technische Universität Chemnitz, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Format: Buch, Hochschulschrift
Sprache: Englisch
veröffentlicht: Chemnitz: Universitätsverlag Chemnitz, 2015
Hochschulschriftenvermerk: Zugl.: Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2015
Schlagworte:
RVK-Klassifikation: ZN 4125Ähnliche Treffer finden
ISBN: 9783944640570
3944640578
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