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Gallium-based solid liquid interdiffusion bonding of semiconductor substrates near room temperature
Gespeichert in:
Personen und Körperschaften: | , |
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Titel: | Gallium-based solid liquid interdiffusion bonding of semiconductor substrates near room temperature/ Joerg Froemel. Technische Universität Chemnitz |
Hochschulschriftenvermerk: | Zugl.: Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2015 |
Medientyp: | Buch Hochschulschrift |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
Chemnitz
Universitätsverlag Chemnitz
2015
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Schlagwörter: | |
Online-Ausg.: | Froemel, Joerg, 1977 - , Gallium-based Solid Liquid Interdiffusion Bonding of Semiconductor Substrates near room temperature, Chemnitz : Universitätsverlag Chemnitz, 2015, Online-Ressource |
Quelle: | Verbunddaten SWB |