Elastizitätsmodul und Bruchfestigkeit von Poly-Silizium-Membranen kommerzieller MEMS-Mikrofone

1. Verfasser:
Verfasserangabe: John Brückner
Körperschaft: Technische Universität Chemnitz [Grad-verleihende Institution]
Format: Buch, Hochschulschrift
Sprache: Deutsch
veröffentlicht: Düren, Shaker Verlag, 2019
Hochschulschriftenvermerk: Dissertation, Technische Universität Chemnitz, 2018
Gesamtaufnahme:
Schlagworte:
ISBN: 9783844066081
384406608X
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CampusBibliothek II -- Wirtschaft/Recht/Natur-/Ingenieurwiss./Mathematik+
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Fällig am: 24.06.2019
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Barcode: 000000316940
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Literaturabteilung: Magazin, Bereitstellung am folgenden Öffnungstag Regalstandort: 1034504
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