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Buchumschlag von EMLC 2006: 22nd European Mask and Lithography Conference EMLC ; lectures held at the GMM-conference January 23 - 26, 2006 in Dresden, Germany
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EMLC 2006: 22nd European Mask and Lithography Conference EMLC ; lectures held at the GMM-conference January 23 - 26, 2006 in Dresden, Germany

Gespeichert in:

Personen und Körperschaften: Behringer, Uwe (HerausgeberIn), EMLC 22 2006 Dresden (VerfasserIn), Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik (Sonstige)
Titel: EMLC 2006: 22nd European Mask and Lithography Conference EMLC ; lectures held at the GMM-conference January 23 - 26, 2006 in Dresden, Germany/ organizer: VDE/VDI Society Microelectronics, Micro- and Precision Engineering (GMM). Conference chairperson: Uwe Behringer
Medientyp: Buch Konferenzbericht
Sprache: Englisch
veröffentlicht:
Berlin, Offenbach VDE-Verl. 2006
Gesamtaufnahme: Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik: GMM-Fachbericht ; 49
Schlagwörter:
Quelle: Verbunddaten SWB