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EMLC 2006: 22nd European Mask and Lithography Conference EMLC ; lectures held at the GMM-conference January 23 - 26, 2006 in Dresden, Germany
Gespeichert in:
Personen und Körperschaften: | , , |
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Titel: | EMLC 2006: 22nd European Mask and Lithography Conference EMLC ; lectures held at the GMM-conference January 23 - 26, 2006 in Dresden, Germany/ organizer: VDE/VDI Society Microelectronics, Micro- and Precision Engineering (GMM). Conference chairperson: Uwe Behringer |
Medientyp: | Buch Konferenzbericht |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
Berlin, Offenbach
VDE-Verl.
2006
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Gesamtaufnahme: |
Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik: GMM-Fachbericht ; 49
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Schlagwörter: | |
Quelle: | Verbunddaten SWB |
Online
Inhaltsverzeichnis, VerlagUniversitätsbibliothek
Verfügbar Bestellung |
Regalstandort:
ZN 1601 49
Literaturabteilung:
Freihand
Anmerkungen:
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