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Herstellung und Charakterisierung von dotierten AlN-Schichten

Bibliographic Details
Authors and Corporations: Boger, Raimund (Author)
Title: Herstellung und Charakterisierung von dotierten AlN-Schichten vorgelegt von Raimund Boger
Dissertation Note: Freiburg (Breisgau), Univ., Diss, 2007
Media Type: E-Book Thesis
Language: German
published:
2007
Subjects:
Source: Verbunddaten SWB
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