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Development of 3D force sensors for nanopositioning and nanomeasuring machine
Gespeichert in:
Veröffentlicht in: | Sensors 9(2009), 5, Seite 3228-3239 |
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Personen und Körperschaften: | , , , , |
Titel: | Development of 3D force sensors for nanopositioning and nanomeasuring machine/ Arti Tibrewala, Norbert Hofmann, Anurak Phataralaoha, Gerd Jäger and Stephanus Büttgenbach |
Medientyp: | E-Book-Kapitel |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
2009
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Gesamtaufnahme: |
Sensors, 9(2009), 5, Seite 3228-3239
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Quelle: | Verbunddaten SWB Lizenzfreie Online-Ressourcen |
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