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Antriebsprinzipien für aktive mikromechanische Bauelemente auf der Basis polykristalliner Diamantfilme
Gespeichert in:
| Personen und Körperschaften: | |
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| Titel: | Antriebsprinzipien für aktive mikromechanische Bauelemente auf der Basis polykristalliner Diamantfilme/ Philipp Schmid |
| Hochschulschriftenvermerk: | Ulm, Univ., Diss., 2007 |
| Medientyp: | E-Book Hochschulschrift |
| Sprache: | Deutsch |
| veröffentlicht: |
2007
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| Schlagwörter: | |
| Quelle: | Verbunddaten SWB Lizenzfreie Online-Ressourcen |