Mikro-System-Technik Chemnitz '10: Mikromechanik & Mikroelektronik ; 10. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik ; 20./21. Oktober 2010

Gespeichert in:

Personen und Körperschaften:	Dittrich, Claus (Sonstige), Technische Universität Chemnitz (Sonstige), Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik 10 2010 Chemnitz (Sonstige)
Titel:	Mikro-System-Technik Chemnitz '10: Mikromechanik & Mikroelektronik ; 10. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik ; 20./21. Oktober 2010/ Technische Universität Chemnitz. [Programmkomitee: C. Dittrich ...]
Medientyp:	Buch Konferenzbericht
Sprache:	Deutsch, Englisch
veröffentlicht:	Chemnitz Techn. Univ. 2010
Schlagwörter:	Microelectronics > Congresses Micromechanics > Congresses Konferenzschrift
Quelle:	Verbunddaten SWB
Anmerkungen:	Beitr. teilw. dt., teilw. engl.