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Three-dimensional optical lithography beyond the diffraction limit
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Titel: | Three-dimensional optical lithography beyond the diffraction limit/ von Joachim Fischer |
Hochschulschriftenvermerk: | Karlsruhe, Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Diss., 2012 |
Medientyp: | E-Book Hochschulschrift |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
Karlsruhe
KIT-Bibliothek
2012
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Schlagwörter: | |
Quelle: | Verbunddaten SWB Lizenzfreie Online-Ressourcen |