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Buchumschlag von Three-dimensional optical lithography beyond the diffraction limit
Verfügbar über Open Access

Three-dimensional optical lithography beyond the diffraction limit

Gespeichert in:

Personen und Körperschaften: Fischer, Joachim (VerfasserIn)
Titel: Three-dimensional optical lithography beyond the diffraction limit/ von Joachim Fischer
Hochschulschriftenvermerk: Karlsruhe, Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Diss., 2012
Medientyp: E-Book Hochschulschrift
Sprache: Englisch
veröffentlicht:
Karlsruhe KIT-Bibliothek 2012
Schlagwörter:
Quelle: Verbunddaten SWB
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