Technologiemanagement und anwendungsspezifische Prozessentwicklung in der Mikrosystemtechnik

1. Verfasser:
Verfasserangabe: Thilo Schmidt
Format: E-Book, Hochschulschrift
Sprache: Deutsch
veröffentlicht: Siegen: Universitätsbibliothek der Universität Siegen, 2011
Hochschulschriftenvermerk: Siegen, Universität Siegen, Diss., 2011
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Weitere Titel: Technology management and application specific process development for MEMS
Beschreibung: Online-Ressource