@phdthesis{ 13-1022240315, title = {Technologiemanagement und anwendungsspezifische Prozessentwicklung in der Mikrosystemtechnik}, author = {Schmidt, Thilo}, address = {Siegen}, publisher = {Universitätsbibliothek der Universität Siegen}, year = {2011}, school = {Siegen, Universität Siegen, Diss., 2011}, language = {German}, url = {https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:hbz:467-6058}, url = {https://d-nb.info/1022240315/34}, url = {http://dokumentix.ub.uni-siegen.de/opus/volltexte/2012/605/}, url = {https://katalog.bibliothek.tu-chemnitz.de/Record/13-1022240315} }