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Buchumschlag von Entwicklung von großflächigen PECVD-Prozessen zur kontrollierten, homogenen Abscheidung dünner Siliziumschichten für die Photovoltaik
Verfügbar über Open Access

Entwicklung von großflächigen PECVD-Prozessen zur kontrollierten, homogenen Abscheidung dünner Siliziumschichten für die Photovoltaik

Gespeichert in:

Personen und Körperschaften: Grootoonk, Björn Olaf (VerfasserIn), Rau, Uwe (AkademischeR BetreuerIn), Wiggers, Hartmut (AkademischeR BetreuerIn)
Titel: Entwicklung von großflächigen PECVD-Prozessen zur kontrollierten, homogenen Abscheidung dünner Siliziumschichten für die Photovoltaik/ Björn Olaf Grootoonk ; Uwe Rau, Hartmut Wiggers
Hochschulschriftenvermerk: Dissertation, RWTH Aachen University, 2018
Medientyp: E-Book
Sprache: Deutsch
veröffentlicht:
Aachen Universitätsbibliothek der RWTH Aachen 2019
Gesamtaufnahme: Schriften des Forschungszentrums Jülich. Reihe Energie & Umwelt/Energy & environment ; 462
Schlagwörter:
Gas
Plasma
Solarzelle
Abscheidung
Fotovoltaik
Elektrode
Quelle: Diss online