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Buchumschlag von On the determination of film stress from substrate bending: STONEY´s formula and its limits
Verfügbar über Open Access

On the determination of film stress from substrate bending: STONEY´s formula and its limits

Gespeichert in:

Personen und Körperschaften: Schwarzer, Norbert, Richter, Frank
Titel: On the determination of film stress from substrate bending: STONEY´s formula and its limits
Medientyp: Computerdatenträger
Sprache: Englisch
veröffentlicht:
Chemnitz Technische Universität Chemnitz
Online-Ausg.. 2006
Schlagwörter:
Quelle: Qucosa