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On the determination of film stress from substrate bending: STONEY´s formula and its limits
Gespeichert in:
Personen und Körperschaften: | , |
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Titel: | On the determination of film stress from substrate bending: STONEY´s formula and its limits |
Medientyp: | Computerdatenträger |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
Chemnitz
Technische Universität Chemnitz
Online-Ausg.. 2006 |
Schlagwörter: | |
Quelle: | Qucosa |