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Design and experimental tests of a dual-servo piezoelectric nanopositioning stage for rotary motion
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Review of Scientific Instruments |
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Personen und Körperschaften: | , , , , , |
In: | Review of Scientific Instruments, 86, 2015, 4 |
Medientyp: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
AIP Publishing
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Schlagwörter: |