Design and experimental tests of a dual-servo piezoelectric nanopositioning stage for rotary motion

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Bibliographische Detailangaben

Zeitschriftentitel:	Review of Scientific Instruments
Personen und Körperschaften:	Li, Jianping, Zhou, Xiaoqin, Zhao, Hongwei, Shao, Mingkun, Fan, Zunqiang, Liu, Hui
In:	Review of Scientific Instruments, 86, 2015, 4
Medientyp:	E-Article
Sprache:	Englisch
veröffentlicht:	AIP Publishing
Schlagwörter:	Instrumentation