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A deep-level transient spectroscopy study of gamma-ray irradiation on the passivation properties of silicon nitride layer on silicon
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | AIP Advances |
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Personen und Körperschaften: | , , , , , , , , |
In: | AIP Advances, 7, 2017, 8 |
Medientyp: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
AIP Publishing
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Schlagwörter: |