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Buchumschlag von High performance In0.83Ga0.17As SWIR photodiode passivated by Al2O3/SiNx stacks with low-stress SiNx films
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High performance In0.83Ga0.17As SWIR photodiode passivated by Al2O3/SiNx stacks with low-stress SiNx films

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Bibliographische Detailangaben
Zeitschriftentitel: Journal of Applied Physics
Personen und Körperschaften: Wan, Luhong, Cao, Gaoqi, Shao, Xiumei, Deng, Shuangyan, Cheng, Jifeng, Gu, Yi, Li, Xue
In: Journal of Applied Physics, 126, 2019, 3
Medientyp: E-Article
Sprache: Englisch
veröffentlicht:
AIP Publishing
Schlagwörter: