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Continuous cellular automaton simulation of focused ion beam-induced deposition for nano structures
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Nanotechnology |
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Personen und Körperschaften: | , , , |
In: | Nanotechnology, 31, 2020, 10, S. 105301 |
Medientyp: | E-Article |
Sprache: | Unbestimmt |
veröffentlicht: |
IOP Publishing
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Schlagwörter: |