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Buchumschlag von Kinetic Study of the Chemical Vapor Deposition of Tantalum in Long Narrow Channels
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Kinetic Study of the Chemical Vapor Deposition of Tantalum in Long Narrow Channels

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Zeitschriftentitel: Advanced Materials Interfaces
Personen und Körperschaften: Mugabi, James Atwoki, Eriksen, Søren, Petrushina, Irina, Christensen, Erik, Bjerrum, Niels J.
In: Advanced Materials Interfaces, 3, 2016, 14
Medientyp: E-Article
Sprache: Englisch
veröffentlicht:
Wiley
Schlagwörter: