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On the impact of interfacial SiOx‐layer on the passivation properties of PECVD synthesized aluminum oxide
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | physica status solidi c |
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Personen und Körperschaften: | , , , , , , , , |
In: | physica status solidi c, 9, 2012, 10-11, S. 2120-2123 |
Medientyp: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
Wiley
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Schlagwörter: |