On the impact of interfacial SiOx-layer on the passivation properties of PECVD synthesized aluminum oxide On the impact of interfacial SiOx-layer on the passivation properties of PECVD synthesized aluminum oxide ; On the impact of interfacial SiOx-layer on the passivation properties of PECVD synthesized aluminum oxide

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In: physica status solidi (c), 9(2012), 10-11, S. 2120 - 2123
Format: E-Article
Sprache: Englisch
veröffentlicht: Wiley
Schlagworte:
ISSN: 1862-6351
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