Carbon doping and etching of MOCVD-grown GaAs, InP, and related ternaries using CC1 4

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Bibliographische Detailangaben

Zeitschriftentitel:	Journal of Crystal Growth
Personen und Körperschaften:	Kibbler, A.E., Kurtz, Sarah R., Olson, J.M.
In:	Journal of Crystal Growth, 109, 1991, 1-4, S. 258-263
Medientyp:	E-Article
Sprache:	Englisch
veröffentlicht:	Elsevier BV
Schlagwörter:	Materials Chemistry Inorganic Chemistry Condensed Matter Physics