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Quasi-monolayer deposition of silicon dioxide
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Thin Solid Films |
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Personen und Körperschaften: | , , |
In: | Thin Solid Films, 250, 1994, 1-2, S. 213-218 |
Medientyp: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
Elsevier BV
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Schlagwörter: |
Umfang: | 213-218 |
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ISSN: |
0040-6090
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DOI: | 10.1016/0040-6090(94)90188-0 |