A new sputter-cleaning device for concave surfaces

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Bibliographische Detailangaben

Zeitschriftentitel:	Vacuum
Personen und Körperschaften:	Bergauer, A, Bangert, H, Eisenmenger-Sittner, Ch
In:	Vacuum, 43, 1992, 8, S. 817-822
Medientyp:	E-Article
Sprache:	Englisch
veröffentlicht:	Elsevier BV
Schlagwörter:	Surfaces, Coatings and Films Condensed Matter Physics Instrumentation