Microcontact printing and pattern transfer with a tri-layer processing

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Bibliographische Detailangaben

Zeitschriftentitel:	Microelectronic Engineering
Personen und Körperschaften:	Chen, Y., Lebib, A., Carcenac, F., Launois, H., Schmidt, G., Tormen, M., Müller, G., Molenkamp, L.W., Liebau, M., Huskens, J., Reinhoudl, S.N.
In:	Microelectronic Engineering, 53, 2000, 1-4, S. 253-256
Medientyp:	E-Article
Sprache:	Englisch
veröffentlicht:	Elsevier BV
Schlagwörter:	Electrical and Electronic Engineering Surfaces, Coatings and Films Condensed Matter Physics Atomic and Molecular Physics, and Optics Electronic, Optical and Magnetic Materials