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Buchumschlag von Use of a capacitance voltage technique to study copper drift diffusion in (porous) inorganic low-k materials
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Use of a capacitance voltage technique to study copper drift diffusion in (porous) inorganic low-k materials

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Bibliographische Detailangaben
Zeitschriftentitel: Microelectronic Engineering
Personen und Körperschaften: Lanckmans, F., Maex, K.
In: Microelectronic Engineering, 60, 2002, 1-2, S. 125-132
Medientyp: E-Article
Sprache: Englisch
veröffentlicht:
Elsevier BV
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