A new disc-type ultrasonic motor

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Bibliographische Detailangaben

Zeitschriftentitel:	Sensors and Actuators A: Physical
Personen und Körperschaften:	Juang, Puu-An, Hardtke, Hans-Jürgen
In:	Sensors and Actuators A: Physical, 94, 2001, 1-2, S. 102-111
Medientyp:	E-Article
Sprache:	Englisch
veröffentlicht:	Elsevier BV
Schlagwörter:	Electrical and Electronic Engineering Metals and Alloys Surfaces, Coatings and Films Condensed Matter Physics Instrumentation Electronic, Optical and Magnetic Materials