Reduction of secondary ion mass spectrometry matrix effect for high dose chromium and cobalt implanted silicon

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Bibliographische Detailangaben

Zeitschriftentitel:	Analytical Chemistry
Personen und Körperschaften:	Tian, Chunsheng., Stingeder, Gerhard., Bubert, Henning.
In:	Analytical Chemistry, 65, 1993, 8, S. 1035-1037
Medientyp:	E-Article
Sprache:	Englisch
veröffentlicht:	American Chemical Society (ACS)
Schlagwörter:	Analytical Chemistry