Effect of Light Irradiation on Native Oxidation of Silicon Surface

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Bibliographische Detailangaben

Zeitschriftentitel:	Japanese Journal of Applied Physics
Personen und Körperschaften:	Takenobu Yoshino, Takenobu Yoshino, Shin Yokoyama, Shin Yokoyama, Toshiaki Fujii, Toshiaki Fujii
In:	Japanese Journal of Applied Physics, 40, 2001, 4R, S. 2223
Medientyp:	E-Article
Sprache:	Unbestimmt
veröffentlicht:	IOP Publishing
Schlagwörter:	General Physics and Astronomy General Engineering