Controlled Lateral Etching of Titanium Nitride in a CMOS Gate Structure Using DSP+

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Bibliographische Detailangaben

Zeitschriftentitel:	ECS Transactions
Personen und Körperschaften:	Foster, John Clayton, Metzger, Sven, Besser, Paul
In:	ECS Transactions, 50, 2013, 4, S. 321-326
Medientyp:	E-Article
Sprache:	Unbestimmt
veröffentlicht:	The Electrochemical Society
Schlagwörter:	General Medicine