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Buchumschlag von Advanced Wet Clean Technology at Lightly Doped Drain Layers in FinFET
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Advanced Wet Clean Technology at Lightly Doped Drain Layers in FinFET

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Zeitschriftentitel: ECS Transactions
Personen und Körperschaften: Li, Jian, Sih, Vincent, Zhan, Hui
In: ECS Transactions, 75, 2016, 5, S. 185-190
Medientyp: E-Article
Sprache: Unbestimmt
veröffentlicht:
The Electrochemical Society
Schlagwörter: