Effect of pH and H[sub 2]O[sub 2] on Ta Chemical Mechanical Planarization

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Bibliographische Detailangaben

Zeitschriftentitel:	Journal of The Electrochemical Society
Personen und Körperschaften:	Kuiry, S. C., Seal, S., Fei, W., Ramsdell, J., H. Desai, V., Li, Y., Babu, S. V., Wood, B.
In:	Journal of The Electrochemical Society, 150, 2003, 1, S. C36
Medientyp:	E-Article
Sprache:	Englisch
veröffentlicht:	The Electrochemical Society
Schlagwörter:	Materials Chemistry Electrochemistry Surfaces, Coatings and Films Condensed Matter Physics Renewable Energy, Sustainability and the Environment Electronic, Optical and Magnetic Materials