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Comparison of Dry and Wet Etch Processes for Patterning SiO[sub 2]/TiO[sub 2] Distributed Bragg Reflectors for Vertical-Cavity Surface-Emitting Lasers
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Journal of The Electrochemical Society |
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Personen und Körperschaften: | , , , , , , , , |
In: | Journal of The Electrochemical Society, 148, 2001, 2, S. G25 |
Medientyp: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
The Electrochemical Society
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Schlagwörter: |