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Buchumschlag von Comparison of Dry and Wet Etch Processes for Patterning SiO[sub 2]/TiO[sub 2] Distributed Bragg Reflectors for Vertical-Cavity Surface-Emitting Lasers
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Comparison of Dry and Wet Etch Processes for Patterning SiO[sub 2]/TiO[sub 2] Distributed Bragg Reflectors for Vertical-Cavity Surface-Emitting Lasers

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Bibliographische Detailangaben
Zeitschriftentitel: Journal of The Electrochemical Society
Personen und Körperschaften: Dang, G., Cho, H., Ip, K. P., Pearton, S. J., Chu, S. N. G., Lopata, J., Hobson, W. S., Chirovsky, L. M. F., Ren, F.
In: Journal of The Electrochemical Society, 148, 2001, 2, S. G25
Medientyp: E-Article
Sprache: Englisch
veröffentlicht:
The Electrochemical Society
Schlagwörter: