Characteristics of III‐V Dry Etching In HBr ‐ Based Discharges

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Bibliographische Detailangaben

Zeitschriftentitel:	Journal of The Electrochemical Society
Personen und Körperschaften:	Pearton, S. J., Chakrabarti, U. K., Lane, E., Perley, A. P., Abernathy, C. R., Hobson, W. S., Jones, K. S.
In:	Journal of The Electrochemical Society, 139, 1992, 3, S. 856-864
Medientyp:	E-Article
Sprache:	Unbestimmt
veröffentlicht:	The Electrochemical Society
Schlagwörter:	Materials Chemistry Electrochemistry Surfaces, Coatings and Films Condensed Matter Physics Renewable Energy, Sustainability and the Environment Electronic, Optical and Magnetic Materials