Eintrag weiter verarbeiten
Buchumschlag von Reactive Ion Etching of InAs , InSb , and GaSb in CCl2 F 2 /  O 2 and  C 2 H 6 /  H 2
Verfügbar über Online-Ressource

Reactive Ion Etching of InAs , InSb , and GaSb in CCl2 F 2 /  O 2 and  C 2 H 6 /  H 2

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Zeitschriftentitel: Journal of The Electrochemical Society
Personen und Körperschaften: Pearton, S. J., Hobson, W. S., Baiocchi, F. A., Jones, K. S.
In: Journal of The Electrochemical Society, 137, 1990, 6, S. 1924-1934
Medientyp: E-Article
Sprache: Unbestimmt
veröffentlicht:
The Electrochemical Society
Schlagwörter: