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Reactive Ion Etching of InAs , InSb , and GaSb in CCl2 F 2 / O 2 and C 2 H 6 / H 2
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Journal of The Electrochemical Society |
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Personen und Körperschaften: | , , , |
In: | Journal of The Electrochemical Society, 137, 1990, 6, S. 1924-1934 |
Medientyp: | E-Article |
Sprache: | Unbestimmt |
veröffentlicht: |
The Electrochemical Society
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Schlagwörter: |