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A Kinetic Model for Si[sub 1−x]Ge[sub x] Growth from SiH[sub 4] and GeH[sub 4] by CVD
Gespeichert in:
| Zeitschriftentitel: | Journal of The Electrochemical Society |
|---|---|
| Personen und Körperschaften: | , |
| In: | Journal of The Electrochemical Society, 154, 2007, 1, S. H53 |
| Medientyp: | E-Article |
| Sprache: | Englisch |
| veröffentlicht: |
The Electrochemical Society
|
| Schlagwörter: |