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Buchumschlag von Fabrication of GaAs-on-Insulator via Low Temperature Wafer Bonding and Sacrificial Etching of Ge by XeF2
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Fabrication of GaAs-on-Insulator via Low Temperature Wafer Bonding and Sacrificial Etching of Ge by XeF2

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Zeitschriftentitel: Journal of The Electrochemical Society
Personen und Körperschaften: Bai, Yu, Cole, Garrett D., Bulsara, Mayank T., Fitzgerald, Eugene A.
In: Journal of The Electrochemical Society, 159, 2011, 2, S. H183-H190
Medientyp: E-Article
Sprache: Englisch
veröffentlicht:
The Electrochemical Society
Schlagwörter: