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Fabrication of GaAs-on-Insulator via Low Temperature Wafer Bonding and Sacrificial Etching of Ge by XeF2
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Journal of The Electrochemical Society |
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Personen und Körperschaften: | , , , |
In: | Journal of The Electrochemical Society, 159, 2011, 2, S. H183-H190 |
Medientyp: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
The Electrochemical Society
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Schlagwörter: |