The Effect of Ti-Rich TiN Film on Thermal Stability of Ge2Sb2Te5for Phase Change Memory

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Bibliographische Detailangaben

Zeitschriftentitel:	ECS Journal of Solid State Science and Technology
Personen und Körperschaften:	Gao, Dan, Liu, Bo, Xu, Zhen, Li, Zhichao, Xia, Yangyang, Wang, Qing, Wang, Heng, Li, Ying, Song, Zhitang, Wang, Lei, Zhan, Yipeng, Feng, Songlin
In:	ECS Journal of Solid State Science and Technology, 5, 2016, 5, S. P245-P249
Medientyp:	E-Article
Sprache:	Englisch
veröffentlicht:	The Electrochemical Society
Schlagwörter:	Electronic, Optical and Magnetic Materials