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VT Stability of HK/MG Stacks with Device Scaling in 30nm Technology
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | ECS Meeting Abstracts |
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Personen und Körperschaften: | , , , , , , , , |
In: | ECS Meeting Abstracts, MA2011-01, 2011, 22, S. 1392-1392 |
Medientyp: | E-Article |
Sprache: | Unbestimmt |
veröffentlicht: |
The Electrochemical Society
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Schlagwörter: |