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Buchumschlag von VT Stability of HK/MG Stacks with Device Scaling in 30nm Technology
Verfügbar über Open Access

VT Stability of HK/MG Stacks with Device Scaling in 30nm Technology

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Zeitschriftentitel: ECS Meeting Abstracts
Personen und Körperschaften: Garros, Xavier, Brunet, Laurent, Casse, Mikael, Weber, Olivier, Andrieu, Francois, Lafond, Dominique, Gaumer, Clément, Reimbold, Gilles, Boulanger, Fabien
In: ECS Meeting Abstracts, MA2011-01, 2011, 22, S. 1392-1392
Medientyp: E-Article
Sprache: Unbestimmt
veröffentlicht:
The Electrochemical Society
Schlagwörter: