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Buchumschlag von Chemical configuration of nitrogen in ultrathin Si oxynitride on Si(100)
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Chemical configuration of nitrogen in ultrathin Si oxynitride on Si(100)

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Bibliographische Detailangaben
Zeitschriftentitel: Physical Review B
Personen und Körperschaften: Kim, J. W., Yeom, H. W., Chung, Y. D., Jeong, K., Whang, C. N., Lee, M. K., Shin, H. J.
In: Physical Review B, 66, 2002, 3
Medientyp: E-Article
Sprache: Englisch
veröffentlicht:
American Physical Society (APS)