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Chemical configuration of nitrogen in ultrathin Si oxynitride on Si(100)
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Physical Review B |
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Personen und Körperschaften: | , , , , , , |
In: | Physical Review B, 66, 2002, 3 |
Medientyp: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
American Physical Society (APS)
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