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Preparation and Corrosion Resistance of Amorphous SiNx Films from Hexamethyldisiloxane Solution by PECVD
Gespeichert in:
| Zeitschriftentitel: | Journal of the American Ceramic Society |
|---|---|
| Personen und Körperschaften: | , |
| In: | Journal of the American Ceramic Society, 88, 2005, 10, S. 2966-2969 |
| Medientyp: | E-Article |
| Sprache: | Englisch |
| veröffentlicht: |
Wiley
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| Schlagwörter: |