Mechanical Properties and Microstructures of Silicon Doped Chromium Oxynitride Thin Films

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Bibliographische Detailangaben

Zeitschriftentitel:	Journal of the Japan Institute of Metals
Personen und Körperschaften:	Shirahata, Jun, Sato, Aoi, Suzuki, Kazuma, Ohori, Tetsutaro, Asami, Hiroki, Suzuki, Tsuneo, Nakayama, Tadachika, Suematsu, Hisayuki, Niihara, Koichi
In:	Journal of the Japan Institute of Metals, 75, 2011, 2, S. 97-103
Medientyp:	E-Article
Sprache:	Japanisch
veröffentlicht:	Japan Institute of Metals
Schlagwörter:	Materials Chemistry Metals and Alloys Mechanics of Materials Condensed Matter Physics