Desorption Induced by Excited Electrons from Semiconductor Surfaces (I)-Desorption Induced by Electron-/hole-injection into Halogen-adsorbed Silicon Surfaces-

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Bibliographische Detailangaben

Zeitschriftentitel:	Shinku
Personen und Körperschaften:	SHUDO, Kenichi, TANAKA, Masatoshi
In:	Shinku, 49, 2006, 10, S. 600-604
Medientyp:	E-Article
Sprache:	Unbestimmt
veröffentlicht:	The Vacuum Society of Japan
Schlagwörter:	Electrical and Electronic Engineering Surfaces, Coatings and Films Condensed Matter Physics