真空 基盤技術から最先端システムまで 真空材料からのガス放出 Vacuum Technology: Keys and Applications. Outgassing from Vacuum Materials.

1. Verfasser:
In: SHINKU, 40(1997), 11, S. 835 - 840
Format: E-Artikel
Sprache: Unbestimmt
veröffentlicht: The Vacuum Society of Japan
Schlagworte:
ISSN: 0559-8516
1880-9413
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