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Fabrication of High TCR TaAl-N Thin Film by Reactive Sputtering Method
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Shinku |
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Personen und Körperschaften: | , , , , , |
In: | Shinku, 50, 2007, 3, S. 173-174 |
Medientyp: | E-Article |
Sprache: | Unbestimmt |
veröffentlicht: |
The Vacuum Society of Japan
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Schlagwörter: |